此外，2010年、2011年三轴陀螺仪、微型投影机、射频微机电切换器(RF MEMS switch)、变容器(varactor)等新产品陆续获得成功也将带动MEMS市场成长；预期2014年新兴MEMS装置将令2014年市场总规模额外增加13亿美元，...
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cantilever rf-mems switch 悬臂梁rf
capacitive RF MEMS switch 电容式RFMEMS开关
contact shunt rf mems switch 并联接触式mems开关
radio frequency rf mems switch 射频微机械开关
capacitive series RF MEMS switch 串联电容式RF
RF MEMS switch is designed by computer aided design (CAD) method.
应用计算机辅助设计(CAD)方法模拟设计一种射频微机械(RF - MEMS)开关。
The design and fabrication of a capacitive series RF MEMS switch is reported.
介绍了一种串联电容式RF MEMS开关的设计与制造。
On this basis, the operational principle of a tri-state latching RF MEMS switch is illustrated.
在此基础上，扩展到一种三态锁存RF MEMS开关，简要阐述了其工作原理。
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