其中的一个典型例子是 大规模集成电路 （ large scale integrated circuit LSI ）制造工艺，为实现超微细、大面积和高速加工，应用的等离子体必须具备低气压（约 1 Pa）、大 4口径（约 0.4 m）和高密度（约 10...
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large scale integrated circuit lsi
大规模集成电路
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