...004版本中,已将PEL光刻技术打消,因为该技术只是作为地域性的解决方案)七、离子束投影光刻(IPL,Ion-Beam Projection Lithography)与电子束直写光刻技术近似。不需要掩膜板,应用高能粒子束直写。
基于28个网页-相关网页
ion-beam projection lithography
离子束投影光刻
以上为机器翻译结果，长、整句建议使用 人工翻译 。
应用推荐
模块上移
模块下移
不移动