重掺杂直拉硅
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Heavily arsenic-doped Czochralski silicon 重掺砷直拉硅
heavily boron-doped czochralski silicon 重掺硼直拉硅
heavily doped czochralski silicon
重掺杂的奇克拉尔斯基硅
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The effect of dopants on oxygen precipitation and induced defects in heavily doped Czochralski (CZ) silicon is investigated.
研究了重掺杂直拉硅单晶中掺杂元素硼、磷、砷、锑对氧沉淀及其诱生二次缺陷行为的影响。
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