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dof-depth of focus

网络释义

  焦深

...光工具） 掩膜版 光刻胶 主要指标： 分辨率W（resolution）->光刻系统所能分辨和加工的最小线条尺寸 焦深(DOF-Depth Of Focus) ->投影光学系统可清晰成象的尺度范围 关键尺寸（CD-Critical Dimension）控制 对准和套刻精度(Alignment and Overlay) 产率(...

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有道翻译

dof-depth of focus

对焦深度

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