这个替代技术叫定向自组装（Directed Self-Assembly），它使用名为嵌段共聚物（Block Copolymer）的化合物溶液把自己组装成常规形状。
基于40个网页-相关网页
至于第四种下一代微影候选技术──定向自组装(directed self-assembly)，虽然是一种十分具有远景的研究课题，但却迟迟未能开始进行研发。
基于8个网页-相关网页
IMEC推DSA制程 位于比利时鲁汶的欧洲研究机构 IMEC 日前公布了定向自组装(directed self-assembly, DSA)制程，据称能改善光学与超紫外光微影技术，并已在IMEC 试点晶圆厂中安装了300mm相容的生产线。
基于4个网页-相关网页
...CON West分公司宣布，将与Arkema共同合作，连手开发用于High-x(chi)嵌段共聚物的第二代定向自组装技术(Directed Self-Assembly；DSA)材料。相较于第一代的DSA材料而言，这些全新的材料能够达成更小的组件尺寸，所以相当适合先进节点晶圆曝光制程使用。
基于1个网页-相关网页