ion cluster
... ion chamber 电离室 ion cluster 离子束 ion collection time 离子收集时间 ...
FIB
要详细分析铜丝键合工艺的情况,聚离子束(FIB)是必不可少的失效分析工具。我们开发了先平行抛光再用聚离子束横切分析的方法,设计出一种不使用酸药剂的失效分析工艺。
HIPIB
能量沉积的高强度的脉冲离子束(HIPIB)研究成钛靶TEMP-6装置的双极性脉冲模式中,使用一个自磁场磁绝缘离子二极管(MID),其中阳极的等离子体被预先生成由第一负电压,...