点缺陷是最简单的晶体缺陷，它是在结点上或邻近的微观区域内偏离晶体结构的正常排列的一种缺陷。点缺陷是发生在晶体中一个或几个晶格常数范围内，其特征是在三维方向上的尺寸都很小，例如空位、间隙原子、杂质原子等，都是点缺陷，也可称零维缺陷。点缺陷与温度密切相关所以也称为热缺陷。 在晶体中，晶格中的原子由于热振动能量的涨落而脱离格点移动到晶体表面的正常格点位置上，在原来的格点位置留下空位。这种空位称为肖脱基缺陷。如果脱离格点的原子跑到邻近的原子空隙形成间隙原子，这种缺陷称为弗伦克耳缺陷。