微机械

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MicroMachine
...工业中的微细加工技术与机械工业中的 微机械 加工技术相嫁接，即微电子学与 微机械 学相互融合的产物， 微机械 （ Micromachine ）就是MEMS的代名词，是迄今最高级的机电一体化产品。现在，多数人认为MEMS技术是半导体技术的一个分支，它植根于半导体工业。
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MEMS
微机械元件和仪器新进展-中国数控机床网-中国最大的机床门户网站关键词：微机械 元件仪器 [gap=669]Key words ：MEMs,Componets,Instruments
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micromechanical
...tegrated micromechanical circuits for rf front ends-集成微机械射频前端电路结束-知来数据 Keywords—MEMS, micromechanical, quality factor, resonator, oscillator, filter, wireless communications, mechan[gap=302]关键词：微机电系统，微机械，品质...

短语

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显微机械加工
Micromachining
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微机械加工
micromachining ; silicon micromachining ; Micro Mechanical Machining ; micro-machine processing
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微机械电子系统
MEMS ; micro electronic mechanical system

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微机械公司计划生产一种芯片，因为它只使用微小的机械开关，所以不会受到辐射损伤。
Micro-Mechanics plans to produce a chip that, because it uses only microscopic mechanical switches, will be invulnerable to radiation damage.
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讨论利用微机械加工技术制作传感器的可能性、必然性。
This paper examines the possibility and necessity of using micromachining technology for sensor manufacturing.
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微平版印术，显微机械加工，和微制作手册：卷一：微平版印术。
Handbook of Micro lithography, Micromachining, and Micro fabrication. Vol.1: microlithography.

微机械
微机械是指利用半导体技术（特别是平板印制术，蚀刻技术）设计和制造微米领域的三维力学系统，以及微米尺度的力学元件的技术。它开辟了制造集成到硅片上的微米传感器和微米电机的崭新可能性。

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