overlay accuracy

这种方法成本高、速度慢，但从技术上来说相对容易，不过要求大约2纳米的套刻精度（overlay accuracy）。

 alignment and overlay

... alignment and integration 联盟和结合 alignment and overlay 套刻精度 alignment apparatus 对准装置 ...

 overlay

... overlap 重叠，搭接 overlay 覆盖；套准，套刻；套刻精度 overload 过载，超载 ...

 alignment precision

... acceptable precision 容许精度 algebraic precision 代数精度 alignment precision 对准精度; 套刻精度 ...