Atomic Layer Deposition

...面复合速率（SRV），提高太阳能电池的短路电流和开路电压，进而使光电转换效率提高。原子层沉积技术（Atomic Layer Deposition，ALD）是一项薄膜沉积的新工艺，用它来沉积的氧化铝钝化材料在太阳能电池中得到了应用，并在实验室得到了较高的转化效率。

 ALD

...变 好 好 好 沉积速率 不好 不好 好 好 好 好 工业适用性 好 较好 好 好 好 不好 原子层沉积技术（AtomicLayerDeposition，ALD），顾名思义，也就是以原子层的精 度一层一层原子的生长，最初称为原子层外延（AtomicLayerEp...

 ALD-atomic layer deposition

近十几年来出现的原子层沉积技术（ALD-atomic layer deposition）在纳米科技领域具有独特而巨大的应用前景。本报告介绍报告人在美国近十年在ALD方面科研、应用、工艺、沉积设备的最近研发成果。