root-mean-square voltage change
... 负载功率因数 load power factor 有效值电压的变化 root-mean-square voltage change 峰值电压变化 peak voltage change ...
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With the increase of the implantation voltage, the root-mean-square roughness (RMS) of Zr films almost don't change.
随着注入高压的增加，薄膜的表面粗糙度均方根（RMS）值的变化不大。
youdao
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