... submicrometer structure 亚微米结构 submicrometer resolution 亚微米分辨力 submicrometer megabit DRAM 亚微米兆位动态随机存取存储器 ...
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The proposed approach has a high precision since the vibrating displacement is measured at submicrometer resolution.
该方法对位移的分辨力在亚微米量级，具有较高的测量精度。
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