量子元胞自动机器件和电路的研究进展 关键词：SiGe/Ge；异质结；离子注入；固相外延；缺陷 [gap=1248]Key words:SiGe/Ge; heterostructure; ion implantation; solid phase epitaxy; defect
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本文采用固相外延技术(solid phase epitaxy, SPE)在清洁的Si(001)衬底上得到了高密度的Sn量子点,并分别研究了沉积温度、沉积厚度、退火温度和退火...
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