剪切散斑
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Shear speckle pattern technique 剪切散斑技术
electronic shear speckle pattern 电子剪切散斑
electronic shear speckle pattern interferometry 电子剪切散斑干涉术
shear speckle pattern
剪切散斑图
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This technic has been used in the instrument of IC wafer Stress Analyzer and Shear Electronic Speckle Pattern Interferometry (SESPI).
最后将错位相移器应用于集成电路硅片薄膜应力分布测试仪及错位电子散斑干涉仪之中。
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