linear diffraction grating interferometer
...对的纳米三坐标测量机须实现20mm×20mm×10mm的量程,以自行开发的线性衍射光栅干涉仪(Linear Diffraction Grating Interferometer,LDGI)作为位移传感器,以DVD测头作为Z轴触发探头。
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linear diffraction grating interferometer
线性衍射光栅干涉仪
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