...工序的离子注入中,所述杂质被离子化为二价的离子,也可以被离子化为一价的离子。在离子化为一价的离子的情况下,尽管需要比较高的加速能量(Kev),但是易于区别被加速的离子。因此,在注入时,能够抑制不是注入对象的杂质离子混入,所以能够实现高纯度的离子注入。
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...半导体器件中的倒讲(retrogradewell)的高能量过程可能需要高达几百万电子伏特(MeV)的注入,而浅结可能仅需要低于I千电子伏特(keV)的能量,并且超浅结可能需要的能量低到250电子伏特m。
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...,研究的重点在于沿着磁力线运动的粒子如何创造出一个等离子体喷流。然而,研究小组还发现:在喷流达到极大值之前,磁场强度出现急剧增加的现象,其伴随的电子能量可以达到千电子伏(keV)的数百倍。 探测器传回的其他数据也表明:这种等离子体喷流在形成之初的温度还是比较低的,其之所能出现温度的急剧升高是因为类似...
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ABBREVIATION for kilo-electronvolt 千电子伏特
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