...薄膜平坦化--深度搜 平坦化 半导体学报 CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS [摘要] 利用现场水汽生成(in-situ steam generation,ISSG)退火这种新型的低压快速氧化热退火技术,在对沉积二氧化硅薄膜热退火的同时进行补偿氧化生长,最终实现了沉..
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