...槽，并在该沟槽的底部与侧壁依序形成内衬氧化物层与内衬氮化硅层；接着在该沟槽中顺应性的沉积部分高密度电浆氧化物层(HDP oxide)；接着，在半导体基底表面顺应性的形成一多晶硅层，再将半导体基底进行热处理以氧化该多晶硅层；接着将该半导体基底表面进行平坦...
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hdp oxide
黄芪丹参滴丸氧化
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