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  干法刻蚀设备

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  干蚀刻机

...空薄膜沈积及制程设备 半导体设备:物理气相沈积(PVD), 溅镀机(sputter), 化学气相沈积(CVD) 干蚀刻机(dry etching system) ‚平板显示器设备: 2.1.用于制造液晶显示器之电浆化学气相沈积系统 (P-CVD) 2.2.

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  • 乾式蚀刻系统
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