...漏电流控制； 超浅结注入； 大束流低能注入； 单晶片注入； 机械扫描 中图分类号： TN305.3 文献标识码： A 文章编号： 1004-4507(2009)10-00[gap=639]Keywords: 32 nm Node Devices; Drain Current Control; Ultra-Shallow Junction Implantation; Large beam low-energy Implantation; Singl..
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drain current control
漏极电流控制
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This technology is using current buoyancy change, floating body to control drain switch of passageway.
该技术利用液流浮力变化驱动浮体升降来控制排水通道的开闭。
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